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德国AIM System涂层膜厚测量仪采用光热红外法技术原理测量涂层的厚度,那光热红外法技术是如何进行工作的呢?详情如下:
待测样品在调制光源的激励下吸收了光辐射的能量,产生红外热辐射即热波,由于待测样品内部的多层结构或者自身缺陷而存在分界面特性的差异,导致红外热波在通过分界面时波形发生变化,不同层状结构厚度以及样品缺陷形貌对热波波形变化有不同的影响,通过探测反射热波形的随时间变化及相对激发光信号的延迟可以分析得到待测样品层状结构以及缺陷形貌尺寸的信息。
光热红外技术的技术优势:
1. 无损无接触式测量
2. 适用范围广:
3. 可在曲面、粗糙表面和各种厚度的基底上测量
4. 高精度,通常在±0.5µm或更小
5. LED光源,使用安全,无辐射和激光危害
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