3D表面轮廓仪

3D表面轮廓仪 Slynx是一款专为工业和研究所设计的全新非接触式3D表面轮廓仪。它设计简洁、用途多样。Slynx能够测量不同的材质，结构，表面粗糙度和波度，几乎涵盖所有类型的表面形貌。它的多功能性能够满足广泛的形貌测量应用。Sensofar的核心是将3种测量方式融于一体，确保了其*的性能。配合SensoSCAN软件系统，用户将获得难以置信的直观操作体验。

应用领域：

• 汽车业
• 消费电子产品 
• 能源行业
• 液晶显示屏
• 材料学
• 微电子学
• 微制造业
• 微体古生物学
• 光学器件
• 机床加工业
• 半导体行业
• 手表制造业

三合一测量技术

ª 共聚焦

共聚焦技术可以用来测量各类样品表面的形貌。它比光学显微镜有更高的横向分辨率,可达0.10um。利用它可实现临界尺寸的测量。当用150倍、0.95数值孔径的镜头时，共聚焦在光滑表面测量斜率达70°（粗糙表面达86°）。共聚焦算法保证Z轴测量重复性在纳米范畴。

ª 干涉

白光垂直扫描干涉（VSI）是一种广泛用于测量表面特性（如形貌或透明薄膜结构）的功能强大的技术。它较适合测量从光滑到适度粗糙的表面，无论物镜的NA或者放大倍数变化，均可以提供纳米级的垂直分辨率。

ª 多焦面叠加

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。根据Sensofar在共聚焦和干涉技术融合应用方面的丰富经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的大亮点是快速(mm/s)、扫描范围大和支援斜率大（大86°）。此功能对工件和模具测量特别有用。