光学三维轮廓仪

Sensofar 在2004年成功开发了新的plu技术，顺利结合了共轭焦及干涉技术于一个感测头中，完全不需要硬件拆装，完全不需要硬件拆装，只要从软件上即可做切换，对使用者来说相当方便，这样的技术在2004年期刊Photonics Spectra’s荣获发明奖的殊荣。

Sensofar 光学三维轮廓仪Sneox 拥有AFM等级的粗糙度、高度量测功能，非接触的量测方式完全不会破坏样品表面，使用简便，可以快速得到量测结果。

三大模式藉由软件切换

共聚焦：

共聚焦的开发是为了量测从平坦到很粗糙的表面。藉由表面的垂直扫描，让物镜的焦点扫过样本表面，藉此找出表面每个pixel的对应高度。共聚焦轮廓提供了超高的分辨率，样品斜率大容许至71度。

白光干涉 ：

白光干涉VSI(Vertical Scanning interferometers)已经被应用在表面量测一段时间了，利用干涉条纹扫过物体表面，藉由侦测干涉条纹大强度的位置，来勾勒出整个表面形貌。

相位差干涉是干涉量测上的新型应用，专门用来对付高低差极小的样本，高低差小余200 nm 的样本，或是非常平坦的粗糙度都非常适合使用此模式测量。

多焦面叠加 ：

多焦面叠加技术是用来测量非常粗糙的表面形貌。 根据Sensofar在共聚焦和干涉技术应用的经验，特别设计了此功能来补足低倍共聚焦测量的需要。该技术的优势是快速(mm/s)、大范围扫描和斜率支持大(达到86° )。此功能对工件和模具测量特别有用.

 光学三维轮廓仪Sneox 适用产业:

LCD、IC、LEDs、Sillicon、太阳能电池、孔洞缺陷、半导体、皮革、纸类、粗糙度量测、邮票、膜厚测量、锡球、钻石