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日本SDI浸渍提拉镀膜仪成功入驻中国科学院微电子研究所 助力半导体前沿研发

更新日期:2025-06-13      浏览次数:236

       北京东方德菲仪器有限公司代理的日本SDI浸渍提拉镀膜仪(型号:ND-0407-N1),已于近日在中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心成功完成安装与调试,正式投入使用。该设备将服务于刘颂研究员科研团队,为半导体晶圆、芯片等关键材料的高性能薄膜制备研究提供强大技术支撑。

 

       此次成功交付并启用的ND-0407-N1浸渍提拉镀膜仪,代表了薄膜制备领域的先进水平。该设备一起优异的工艺控制精度、优异的成膜均匀性与稳定性著称,特别适用于半导体、微电子、光电子、新材料等领域对高质量薄膜涂层(如光刻胶、功能材料涂层、保护层等)的严苛研发需求。它能够满足从基础科研到工艺开发过程中对薄膜厚度精准控制、均匀性及界面特性的严苛要求。

日本SDI浸渍提拉镀膜仪成功入驻中国科学院微电子研究所 助力半导体前沿研发


       中国科学院微电子研究所作为我国集成电路科学与技术领域的国家战略科技力量,其集成电路先导工艺研发中心始终致力于突破未来集成电路制造的核心关键技术。刘颂研究员此次引入ND-0407-N1镀膜仪,将显著提升团队在晶圆级薄膜精确制备与表征方面的实验能力,为开发更小尺寸、更高性能、更低功耗的新一代集成电路技术提供关键的工艺平台支持。

 

       北京东方德菲仪器有限公司作为日本SDI株式会社在中国区的授权代理商,全程负责了该设备的技术咨询、引进、安装调试及技术培训工作。公司凭借专业的团队和对半导体工艺设备的深刻理解,确保了设备顺利落地并满足客户的科研需求。

 

       北京东方德菲仪器有限公司是材料表面科学仪器领域的专业服务商,致力于引进全球顶尖的表面界面测量与表征、精密涂镀膜设备及技术。作为日本SDI株式会社在中国区的战略合作伙伴,公司为国内高校及科研院所提供高性能的浸渍提拉镀膜仪等设备以及全面的技术支持、应用开发和售后服务,持续助力中国前沿科学研究和制造业发展。


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